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PMMA电子束光刻全流程详解 在MEMS光刻中,硅片因其表面粗糙度低、热膨胀系数小而常被用作基底。为了确保光刻胶涂覆均匀,需要对硅片表面进行化学清洗,然后用去离子水漂洗并干燥。 旋涂光刻胶 旋涂法、喷涂法和定量滴胶法是涂胶的几种方法。由于PMMA的黏度较大,涂覆厚度一般不大于1微米,通常采用旋涂法。将光刻胶滴在硅片中心处,使硅片高速旋转,光刻胶在离心力的作用下均匀铺满整个硅片。 堥烘 前烘可使光刻胶中的溶剂挥发,增强其与硅片之间的结合力。前烘过度会导致胶膜硬化,不利于内应力的消除;前烘不足则溶剂挥发不完全,胶膜出现缺陷,显影时存在浮胶现象。 曝光 曝光是电子束光刻工序中最复杂的一步,曝光的图形尺寸精度直接影响零件的尺寸精度。曝光剂量对曝光效果的影响最大。若曝光剂量不足,显影时会出现光刻胶残留在硅片表面,显影图案不完整、形状不规则。若曝光剂量增大到一定程度,被曝光区域的PMMA光刻胶将呈现出负胶性质,显影后无法被去除。 显影 显影液可溶解光刻胶被曝光的部分(正胶)或未被曝光的部分(负胶),是产生图形的关键工艺。显影工艺的关键是显影液类型的确定和显影时间的控制,此外,显影液的配比、温度也会对图形质量产生明显影响。 砥膜 坚膜又称硬烘,目的是通过烘烤使光刻胶胶模中残留的显影液和定影液挥发出来,同时提高光刻胶与基片之间的结合力。烘烤的温度时间视光刻胶的种类及旋涂后的胶膜厚度而定。如果坚膜不到位可能会出现胶膜倒塌的情况。 ️ 金属沉积及去胶 通过在光刻胶图案上回填器件设计所需的材料,例如沉积金属或非金属材料,去除多余的光刻胶后,就可以得到所需的器件。其原理类似于机械加工中的注塑。目前主要的金属沉积方式为微电铸、磁控溅射、蒸发镀膜等方法。PMMA胶易溶于丙酮,选用丙酮作为去胶剂溶解光刻胶,光刻胶溶解后薄膜悬空,可使用超声波清洗机将悬空的金属薄膜去除,这样硅片上就只保留了我们需要的金属MEMS器件。
表面粗糙度符号与代号详解 在机械设计和制造中,表面粗糙度是一个非常重要的概念。它关系到零件的耐磨性、抗疲劳性以及配合精度等。为了更好地理解和应用表面粗糙度的符号和代号,我们来详细解析一下。 基本符号与意义 表面粗糙度符号通常由一个基本符号开始。这个基本符号表示表面可以用任何方法获得。为了标注具体的参数,可以在基本符号的长边上加一横线。 去除材料的方法 犥悦表面是通过去除材料的方法获得的,比如车削、铣削等,可以在基本符号上加一个短划线。这表示表面的粗糙度是通过去除材料的方法达到的。 表面处理 在某些情况下,表面需要通过特定的处理方式获得,比如喷砂、抛光等。这时,可以在基本符号上加一个小圆,表示表面的处理方式。 全表面处理 如果所有表面都具有相同的去除材料方法或处理方式,可以在基本符号上加一个小圆。这表示所有表面的粗糙度要求相同,或者是用于保持原供应状况的表面。 总结 通过以上几种符号的组合,我们可以清晰地表达出零件表面的粗糙度要求。无论是通过去除材料还是通过处理方式获得,这些符号都能准确地传达给制造人员。在实际应用中,合理选择和使用这些符号,对于提高零件的质量和性能至关重要。 希望这篇文章能帮助你更好地理解和应用表面粗糙度的符号和代号!
你真的了解表面粗糙度吗? ### 表面粗糙度的概念 表面粗糙度其实就是零件表面那些微小的峰谷不平度。你可以想象一下,像皮肤上的毛孔一样,这些小坑小包离得很近,但它们都不大,通常在1毫米以下。这些微观的几何形状误差,我们称之为表面粗糙度。 表面粗糙度的成因 犨ᨩ⧲糙度主要是由加工方法和一些其他因素造成的。比如,加工过程中刀具和零件表面的摩擦、切屑分离时的塑性变形、工艺系统中的高频振动,甚至是电加工的放电凹坑等等。不同的加工方法和材料会让表面的痕迹深浅不一,形状和纹理也会有所不同。 表面粗糙度对零件的影响 耐磨性:表面越粗糙,配合表面的有效接触面积就越小,压强和摩擦阻力都会增大,磨损速度自然也就快了。 配合稳定性:对于间隙配合来说,表面粗糙更容易磨损,导致间隙逐渐增大;而对于过盈配合来说,微观凸峰被挤平后,实际有效过盈减小,连接强度也会降低。 疲劳强度:粗糙表面的波谷像尖角缺口和裂纹一样,对应力集中很敏感,从而影响零件的疲劳强度。 耐腐蚀性:粗糙的表面容易让腐蚀性气体或液体通过微观凹谷渗入金属内层,造成表面腐蚀。 密封性:粗糙的表面无法严密贴合,气体或液体容易通过接触面间的缝隙渗漏。 接触刚度:接触刚度是零件结合面在外力作用下抵抗接触变形的能力。机器的刚度在很大程度上取决于各零件之间的接触刚度。 测量精度:零件被测表面和测量工具测量面的表面粗糙度都会直接影响测量的精度,尤其是在精密测量时。 此外,表面粗糙度还会影响零件的镀涂层、导热性和接触电阻、反射能力和辐射性能、液体和气体流动的阻力、导体表面电流的流通等。 表面粗糙度的评定参数 高度特征参数 Ra(轮廓算术平均偏差):在取样长度内轮廓偏距绝对值的算术平均值。测量点的数目越多,Ra越准确。 Rz(轮廓最大高度):轮廓峰顶线和谷底线之间的距离。 间距特征参数 Rsm(轮廓单元的平均宽度):在取样长度内,轮廓微观不平度间距的平均值。微观不平度间距是指轮廓峰和相邻的轮廓谷在中线上的一段长度。相同的Ra值的情况下,其Rsm值不一定相同,因此反映出来的纹理也会不相同,重视纹理的表面通常会关注Ra与Rsm这两个指标。 总的来说,表面粗糙度虽然看似微小,但对零件的性能和使用寿命有着重要的影响。了解并控制好表面粗糙度,对于提高产品质量和延长设备寿命至关重要。
烤漆工艺全解析:从制作到特点 烤漆的制作过程 ️ 烤漆的制作过程其实并不复杂,但需要一定的技巧和耐心。首先,你需要选择一块高密度板材,并将其打磨到一定的粗糙程度。然后,在基底上喷上若干层的油漆。最后,将喷好漆的板材送进无尘恒温烤房中进行高温烘烤,重复三到四次即可。这个过程对油漆的要求很高,显色性好的油漆是关键。 烤漆的特点 不粘性与耐热性:烤漆具有非常优异的不粘性和耐热性。几乎所有物质都不能与特氟龙涂膜粘合,即使是薄薄的膜也能很好地展现出不粘附性能。它在耐热和耐低温方面也非常出色,短时间内可耐高温达300℃,在240℃~260℃之间可连续使用,冷冻温度下也不会变脆。 滑动性与抗湿性:烤漆的摩擦系数较低,负载滑动时摩擦系数变化不大,通常在0.05-0.15之间。它还具有抗湿性能,表面不会沾水沾油,生产过程中也不容易沾到溶液。即使是少量的污渍,只需简单擦拭即可,停机时间短,能有效提高工作效率。 耐磨损性与耐腐蚀性:烤漆还具有耐磨损和耐腐蚀的特性。在高负载情况下,它能有效保护零件不受化学腐蚀,表面也不会受到药品的侵蚀。 总的来说,烤漆是一种非常实用且美观的工艺,适用于各种家具和装饰材料。希望这篇文章能帮到你,让你对烤漆有更深入的了解。
机械制图全攻略 字体大小与图幅关系是机械制图的基础,掌握它们能确保图纸清晰易读。 螺纹画法与标注是机械制图中的重要一环,它们决定了零件的连接与强度。 尺寸标注是机械制图的精髓,它精确地描述了零件的各个尺寸,是制造与设计的关键。 表面粗糙度是评估零件表面质量的重要指标,合理的粗糙度能确保零件的使用寿命。 装配图尺寸与零件序号,以及图纸标题栏、明细栏等,都是机械制图不可或缺的部分。 掌握这些基础知识,你将能更准确地理解与设计机械零件,为工业制造贡献力量!
随着现代制造业的发展,对于金属制品精度和质量要求越来越高。其中,304不锈钢凭借其优良耐腐蚀性、韧性及可加工性能被广泛应用于航空航天、汽车制造等多个领域。而为了提高这种材料制成产品的性能指标,采用先进制造技术成为必然趋势。 在众多生产工艺中,两级拉伸成型法作为一项重要手段,在改善304不锈钢零件表面光洁度、几何尺寸稳定性方面具有明显优势。该方法首先通过初步粗拉形成所需基本形状;然后再进行精整细拉以达到最终所需的精确规格。 整个过程需要严格控制每一步参数设定以及工装夹具的设计匹配度等多方面因素才能保证产品质量。特别是在第一级拉深时要充分考虑材料流动特性,并合理选择润滑剂类型来减少摩擦力对表面粗糙度造成不良影响;第二阶段则更注重提升强度硬度并确保变形量均匀分布避免局部应力集中现象发生导致开裂问题出现。 此外还需注意以下几点: 1. 模具材质选用高耐磨合金钢; 2. 在冷却系统设计上采取分区调节温度方式加快凝固速度; 3. 通过对回弹量预测模型计算得出补偿值并提前调整成形角度来降低后续修模频率节约成本。 总之,《304不锈钢拉伸模具两级工艺》不仅能够实现复杂结构件高效稳定生产,同时也可以根据不同应用场景需求灵活调整相关参数配置,进一步满足客户定制化服务要求。
钢铁切削加工性能全解析 硬度对切削加工的影响 硬度在170到230HB范围内时,加工性能最佳。 硬度超过300HB(30HRC)时,加工性能显著下降。 硬度达到400HB时,加工性能极差。 硬度过低可能导致切削缠绕,增加刀具磨损和零件表面粗糙度。 材料塑性增加(50%-60%)时,切削性能也会显著下降。 化学成分对切削性能的影响 C含量在0.25%到0.35%时最佳。 当C小于0.2%时,Mn含量为1.5%时最佳。 Ni含量大于8%时,加工更困难。 Mo含量在0.15%到0.4%时,切削性能稍提高。淬火钢硬度大于350HB时,加入Mo可提高切削加工性能。 含碳量小于0.3%时,冷轧或冷拔比热轧好。 含碳量0.3到0.4%的中碳钢,冷轧与热轧差不多。 含碳量大于0.4%的高碳钢,热轧比冷轧好。 铸铁的切削性能 退火可使硬度下降15%到30%,提高30%到80%的切削速度。 铜合金的切削性能 强度和硬度比钢铁低,切削加工性能好。 青铜硬脆,切削时类似灰铸铁;黄铜韧软,类似低碳钢,但表面粗糙度较低。 黄铜容易产生扎刀问题。 除某些青铜外,刀具使用寿命比钢铁高。 装卡容易引起变形。 线胀系数比钢铁大,加工发热,尺寸精度较难控制。 铝合金的切削性能 强度和硬度比铜更低,切削加工性更好,但车螺纹容易崩扣。 加工时容易沾刀、形成刀瘤,增加表面粗糙度。 组织不够致密,难以获得较低的表面粗糙度。 除车铸造SI AL合金外,刀具使用寿命较高(禁止使用陶瓷刀具)。 装卡和加工时容易引起变形,工件表面容易碰伤和划伤。 线胀系数较大,影响尺寸精度更突出。 镁合金的切削性能 密度小,机加工较容易。可以采取较大进给速度和深度。
航发零件能使用高精密双面研磨机械加工应用 航发零件非常适合使用高精密双面研磨机械进行加工,主要原因包括: 1. 高精度要求: 航发零件通常对尺寸精度和几何形状要求极高,高精密双面研磨机械能够实现微米级的加工精度,满足这些严格的标准。 2. 表面质量: 航发零件的表面光洁度对其性能至关重要,双面研磨能够有效降低表面粗糙度,提供优良的表面质量。 3. 双面加工效率: 该机床能够同时对零件的两个面进行加工,提高了生产效率,适合大批量生产的需求。 4. 适用材料广泛: 高精密双面研磨机械能够加工多种材料,包括高强度合金和复合材料,符合航发零件的材质要求。 5. 稳定性: 双面研磨能够减少工件的变形和应力集中,提高加工的一致性和稳定性,确保零件的可靠性。 6. 加工灵活性: 现代高精密双面研磨机通常配备数控系统,能够适应不同类型和形状的航发零件,加工灵活性强。 使用高精密双面研磨机械加工航发零件是一个有效的选择,能够满足其高精度和高质量的要求,适应航空发动机等领域的应用需求。
S136模具钢S136圆棒s136光圆S136模具钢 S136模具钢介绍: S136是铬镍钼钒合金钢,是瑞典一胜百生产的优良的耐蚀性、抛光性、耐磨性、机械加工性,淬硬时具有优良的尺寸稳定性材料,一般用作制作模具。 优点: 1、优良的耐蚀性、抛光性,良好的耐磨性、机械加工性,淬硬时优良的尺寸稳定性; 2、组织非常均匀,含杂质非常小,研磨能保持很好的平面度; 3、优良的抛光性,表面可加工成镜面; 4、优良的耐磨性、耐腐蚀、锈蚀对使用有腐蚀性的PVC、醋酸盐类等注模原料或必须在超市的环境下工作及存放的模具; 5、优良的机械加工性。 缺点: 1、尽可能避免焊接,因为容易开裂。 应用: 1、S136一般适用于需要热处理的零件,达到高强度高硬度; 2、高光滑度的表面,生产光学产品,如照相机、太阳眼镜、化学仪器及塑胶制品等; 3、因其良好的耐腐蚀性,在有弱腐蚀性液体或潮湿环境下工作的零件可选用此种材料; 4、对表面粗糙度要求很高零件可用研磨工艺表面达到要求; 5、加工后也要做退磁处理,因此对耐腐蚀性和硬度(HRC>40)有要求(但比SUS440C低)攻坚。材料可优先(价低)选用S136。
让你快速了解数控双端面研磨机相关知识 了解数控双端面研磨机需要掌握其基本构造、工作原理、应用范围以及加工精度等方面的知识。以下是关于数控双端面研磨机的简要介绍: 1. 数控双端面研磨机概述 数控双端面研磨机是一种用于精密研磨和抛光工件表面的机械设备,采用数控系统(CNC)进行操作。该机床通过同时对工件的两端进行研磨,可以实现高精度的平行度、平面度和表面粗糙度控制。其主要应用于高精度加工领域,特别是在精密零部件、大批量生产中。 2. 工作原理 数控双端面研磨机通过两个磨盘同时对工件的两端进行研磨,研磨盘以高速旋转,工件在夹具内被固定并在研磨盘间来回进给。在数控系统的控制下,工件的每个面都能够获得均匀的研磨,并且通过精确的控制实现所需的尺寸和表面质量。 基本工作流程: 进给系统:工件通过夹具夹紧后,沿着垂直方向与两个旋转的磨盘之间进行进给。 数控控制:数控系统通过输入的程序对磨盘转速、进给速度、磨削深度等进行精确控制,确保每个工件达到指定的尺寸和精度要求。 研磨液辅助:研磨过程中使用专用研磨液进行冷却、润滑,并带走切削产生的热量和杂质,保持良好的研磨效果。 3. 主要特点 双端面同时加工:能够实现两端同时研磨,减少了单面加工时可能出现的工件偏差。 高精度:数控系统能够精确控制工件的加工参数,如磨削深度、进给速率、砂轮转速等,确保工件加工精度高,平面度、平行度及表面粗糙度达到严格要求。 高生产效率:相较于传统单端面研磨机,双端面研磨机可大幅提升加工效率,尤其适用于大批量生产。 适应性强:可以处理多种不同材料的工件,包括金属、陶瓷、玻璃等,广泛应用于电子、汽车、航天等行业。 4. 适用工件类型 数控双端面研磨机适用于各种形状和尺寸的工件,尤其是对于需要高平行度和表面光洁度的精密零件。常见的加工工件包括: 精密轴承:如深沟球轴承、滚动轴承的套圈和滚子。 机械零部件:如各种金属和非金属部件,尤其是需要高表面质量的零部件。 电子元器件:如半导体材料的金属化面和其他精密电子组件。 光学组件:例如镜片、透镜等需要高精度平面度和表面光洁度的光学元件。 航空航天零件:用于飞机和航天器零部件的精密加工,尤其是高性能要求的零件。 5. 加工精度与效率 精度:数控双端面研磨机能达到极高的加工精度,平面度误差可控制在2以内,表面粗糙度Ra可达到0.1~0.2,甚至更低,满足高端行业的需求。 加工效率:由于是双端面同时加工,可以在单位时间内处理更多工件,极大提升生产效率,适合大批量生产。 6. 数控系统与操作 数控双端面研磨机通常配备先进的数控系统(如FANUC、Siemens等),通过数控系统对各项参数进行精确控制,包括: 磨削深度:控制每次磨削的切削厚度,防止工件表面损伤。 进给速度:控制工件在砂轮中的进给速率,保证均匀研磨。 砂轮转速:根据工件的材质、硬度等因素调整砂轮的转速,以优化研磨效果。 磨削液流量和压力:保持冷却效果,避免工件和砂轮过热。 7. 设备维护与管理 为了确保数控双端面研磨机的长期稳定运行,需要定期进行维护与保养: 检查砂轮的磨损情况:砂轮使用一段时间后需进行更换或修整,保证研磨精度。 润滑与冷却系统的维护:定期检查润滑油和冷却液的状态,确保润滑效果和冷却效果。 数控系统的校准:定期对数控系统进行校准,确保参数的准确性。 8. 应用案例 轴承生产:在轴承行业中,数控双端面研磨机被广泛应用于生产各种高精度轴承,尤其是在要求高平行度、低表面粗糙度的情况下。 汽车工业:在汽车零部件生产中,精密的端面研磨机用于加工发动机零部件、刹车片等高精度要求的零件。 光学行业:在生产光学镜片、透镜等产品时,数控双端面研磨机确保了高质量的表面平整度和光洁度。
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