电铸用零件前沿信息_电铸零件图片(2024年12月实时热点)
「芯选Watchoosy」Greubel Forsey 20周年纪念,发布了品牌首款计时码表作品。 在此之前,品牌已经推出过自鸣三问、一线天万年历、倾斜陀飞轮等特殊难度的功能。所以作为周年纪念的计时码表,自然也是与众不同。除了相对常规的飞行陀飞轮、垂直离合技术外,这一次最重要的是将品牌于2017年亮相的“微机械”加工技术进行了运用。 图2、3就是其照片图纸,使用LIGA光刻技术,利用胶版和紫外线做出零部件外形,再电铸出来,这样的LIGA技术可以在批量生产的同时保证零件极高的精密度和表面光洁度。 Greubel Forsey利用这项技术制作零部件,将擒纵部分的跳动运动传递出来,做出了六分之一秒的跳秒。这种的工艺加工的零件,比传统的金属部件节约了1800倍的能量。 限量11枚,定价380万人民币。
PMMA电子束光刻全流程详解 ### 1. 基片表面预处理 在MEMS光刻中,硅片因其表面粗糙度低、热膨胀系数小而常被用作基底。为了确保光刻胶涂覆均匀,需要对硅片表面进行化学清洗,随后用去离子水漂洗并干燥。 旋涂光刻胶 涂胶方法有旋涂法、喷涂法和定量滴胶法。由于PMMA黏度较大,涂覆厚度一般不大于1微米,通常采用旋涂法。将光刻胶滴在硅片中心处,使硅片高速旋转,光刻胶在离心力的作用下均匀铺满整个硅片。 前烘 劊前烘可使光刻胶中的溶剂挥发,增强其与硅片之间的结合力。前烘过度会导致胶膜硬化,不利于内应力的消除;前烘不足则溶剂挥发不完全,胶膜出现缺陷,显影时存在浮胶现象。 曝光 曝光是电子束光刻工序中最复杂的一步,曝光的图形尺寸精度直接影响零件的尺寸精度。曝光剂量对曝光效果的影响最大。若曝光剂量不足,显影时会出现光刻胶残留在硅片表面,显影图案不完整、形状不规则。若曝光剂量过大,被曝光区域的PMMA光刻胶将呈现出负胶性质,显影后无法被去除。 显影 显影液可溶解光刻胶被曝光的部分(正胶)或未被曝光的部分(负胶),是产生图形的关键工艺。显影工艺的关键是显影液类型的确定和显影时间的控制,此外,显影液的配比、温度也会对图形质量产生明显影响。 坚膜 ꊊ坚膜又称硬烘,目的是通过烘烤使光刻胶胶模中残留的显影液和定影液挥发出来,同时提高光刻胶与基片之间的结合力。烘烤的温度时间视光刻胶的种类及旋涂后的胶膜厚度而定。如果坚膜不到位可能会出现胶膜倒塌的情况。 金属沉积及去胶 튊通过在光刻胶图案上回填器件设计所需的材料,例如沉积金属或非金属材料,去除多余的光刻胶后,就可以得到所需的器件。其原理类似于机械加工中的注塑。目前主要的金属沉积方式为微电铸、磁控溅射、蒸发镀膜等方法。但在微纳米尺寸的电铸中,由于电铸液表面张力的存在使其难以进入胶模,因此主要采用磁控溅射及热蒸发的方法。
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